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應用介紹
1.什么是臭氧和臭氧的危害。
臭氧是大氣中的微量氣體，由三個氧原子組成。主要存在于距地面10—50千米的平流層，構成臭氧層，能阻擋紫外線，需加以保護。少部分臭氧分布在近地面，也有一定防護作用。
當臭氧達到一定濃度時，可使人呼吸加速、胸悶，如果濃度進一步提高，可引起脈搏加速、疲倦、頭痛塵散，在這樣的環境中停留1小時，會發生肺氣腫，甚至死亡。長期待在臭氧污染嚴重的環境中，對皮膚健康也可能有損傷，還可能增加致癌危險。臭氧污染還會對環境造成損害。比如，會導致植物葉片壞死、脫落，危害生態環境，造成農作物減產等
2.臭氧在半導體工業中的應用
在過去的幾年中，臭氧在半導體工業的應用越來越受到重視，特別是在品圓清洗過程。
在半導體行業，清潔度是一個的要求。即使是很小的污染物痕跡也會導致晶圓表面區域結構的改變自80年代未以來，在芯片生產中采用臭氧的清潔工藝已經被使用。隨著修改和新方法的開發，人們的興趣繼續增長。每個晶圓處理步驟都是潛在的污染源，每個步驟都有其特定類型的污染物。這意味著一個有效的清洗過程包括幾個清洗步驟，以去除晶體上的所有污染物。同時“清潔"的行業要求擴展到設備(臭氧發生器，接觸到的設備)，這意味著不會產生顆粒，沒有金屬，離子或有機污染物。所以在半導體行業中會或多或少的有臭氧氣體的揮發到空氣中。
3.怎么對進行臭氧氣體監測
在此，深圳市富安達智能科技推薦一款臭氧傳感器(O3/M-5)，該傳感器具有響應速度快、抗干擾、分辨率高、線性度好、靈敏度高等特點。
深圳市富安達智能科技有限公司（富安達智能，ASA）創立于2003年，已成為中國傳感器及整體解決方案的企業，是專業從事傳感器應用硬件、軟件及相關系統的應用設計、服務和銷售服務的專業系統配套方案提供商，在國內與多所高校和多個研究院所建立了長期緊密的技術合作關系,并與國外多家公司建立了長遠的戰略伙伴關系。
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